东莞TF100-100HV真空炉

产品型号

TF1000-100HV(4)

设备用途

半导体材料，电子照明材料、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、真空镀膜、CVD实验。不锈钢，钛合金，镍钛合金，纯钛，植入体（髋关节、膝关节、脊柱等时效真空处理，除气处理，提纯处理，工作区洁净没有污染，工件处理后不氧化，不开裂，去除工件应力，增加工件硬度。

炉膛尺寸

Φ94*400mm

额定电压

AC220V       50/60Hz

额定功率

4.8kw

额定温度

1000℃

工作温度

980℃

加热元件

红外快速升温10分钟可以900度。

升温速率

15分钟1000度，比普通炉快几倍

加热控温方式

可控硅，移相触发

控制方式

触 10英寸液晶触摸屏 北京昆仑通态摸屏，可预设多达百条工艺程序，并可编辑不同中英文工艺名称，需要时直接调用，互不干扰，无需重复修改参数。

控制精度

±1℃

炉膛材料

多晶硅氧化铝，收缩率小，导热系数低，保温效果好，耐用节能

真空系统

机械泵+分子泵，抽速快，真空稳定高，可靠性高、使用寿命长、噪音低、抽速大等优点。并配复合真空计：ZDF-5227 测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa，实时监控炉腔的真空度。

极限真空

≤1.5*10^﹣4 pa

抽真空时间

≤30min（从大气压到0.005pa）

报警保护

具有超温、温度偏差、真空机组过载、水温过高、水压低，等声光报警保护

气氛及快速降温

预留气管插口，可以快速连接气体加快降温速度，也可以开起炉盖加快降温

控制系统设计

采用人机界面友好的触摸屏集中控制

温度测量与控制

欧米茄热电偶，有自整顿功能

集中控制

触摸屏集中控制，温度、触摸屏可以设置多条工艺，记录升温曲线等多种功能

温度报警信号处理

当温度发生超温现象时，温度超温报警系统立即发出声光报警信号，并同时切断加热，蜂鸣器连续的报警声

设备运输方式

整体运输

安装设备

液压叉车或吊车1台

设备卸装/就位

设备运到客户现场后由客户检验设备有无损伤，若无损伤，客户负责设备的卸装到客户指定的位置

客户职责

负责设备在使用现场的就位，包括设备卸装，设备外接电线的布线至设备总开关处，厂房的抽风系统（含风罩等）