淄博锐达真空技术有限公司

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罗茨真空泵抽气速率的测定方法

  罗茨真空泵的抽气速率是指单位时间内排出气体的体积,常用单位为升·秒,接下来分享一下罗茨真空泵抽气速率的测定方法:
  1、测定用具:试验罩的结构尺寸在部颁标准JB1875-73中有详细规定,试验罩的内径D应与罗茨真空泵的进口直径相等。在测量抽气速率的装置中,使用的真空计应为座式压缩真空计和油U型真空计,并经精度10%以上的压缩式真空计校准,真空计的取气口平面应与气流方向平行。流量侧量使用的流量计,在测量范围内须具有二级精度。
  2、测定方法:罗茨真空泵抽气速率的测定采用定压法。在泵的进口处直接连接试验罩,泵的出口与前级油封机械泵连接,在进口与出口处均设有真空计测量压力,流量计经调节针阀与试验罩相通。在启动真空泵并达到稳定工况后,方可进行测量。从接近真空的适当值开始测定抽气速率,一直测至泵的允许进口压力附近为止。每一个数量级中至少测四点,其分布应基本符合1,2,5,7的比例,例如1xl0-2、2x10-2、5x10-2和7xl0-2四点。在测量过程中,每次调节针阀使其达到一定压力后,至少经过3分钟待真空计上压力读数平稳,才能记录压力数据。如果压力有变化,则应采用在测量过程中的压力平均值。
  罗茨真空泵的抽气速率测定,因其用途不同而采用不同的测试方法和仪器。气体流量小于5OTorr·L/s时,应采用低饱和蒸气压液体滴定管流址计,气体流量大于50Torr·L/s时,应采用浮子流量计。
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